Исследование гетероструктур

Исследование полупроводниковых и металлоорганических гетероструктур
Проведение исследований многослойных гетероструктур. Определение толщин их слоев (от долей нм до нескольких мкм), химического состава, оптических констант, межслойной и поверхностной шероховатости, профиля изменения характеристик по глубине и др.
Оборудование для проведения исследований:
ИК-спектральный эллипсометр IR-VASE
Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп JSPM-4610
Нанотехнологический комплекс «Нанофаб 100»
Зондовая нанолаборатория «Интегра Спектра» (Ntegra Spectra)
Оже-электронный спектрометр SPECS
Сканирующий электронный
микроскоп FEI Phenom
Сканирующий атомно-силовой и туннельный микроскоп SolverNEXT с приставкой наноиндентирования.
Растровый электронный микроскоп TESCAN VEGA II с системой рентгеноспектрального микроанализа Oxford INCA Energy 350
Модуль для распыления углерода и золота SPI